光譜分析儀的內標是用于動態校正樣品和標準之間物理差異，所有樣品都跟同一元素進行比對而進行校正的，根據內標元素信號的降低或者增強來對樣品進行校正。內標抗干擾能力強，并且能解決物理方面造成的差異。

由于激發源條件變化等原因，譜線絕對強度再現性較差,所以在實際光譜分析時一般采用相對強度,選用一條比較譜線,用分析線與比較線強度比進行光譜定量分析，所采用的比較線稱為內標線或參比線，提供這種比較線的元素稱為內標元素。

一般以被測樣品基體作為內標元素,以內標元素的一條或幾條譜線作為內標線，如分析鋼鐵時以鐵為內標元素。以CCD為檢測器的儀器則沒有出射狹縫，其波長示值誤差就是實際的譜線波長誤差，其檢定方法與ICP光譜類似。譜線標準值一般軟件里有注明，也可查詢美國國家標準與技術研究院(NIST)標準光譜譜線庫。